针对天文望远镜对变形镜的需求，设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先，通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模，分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后，制备了3款200单元变形镜样机(环形简支，环形固支，六边形简支)。最后，利用干涉仪测量了变形镜的影响函数，并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性。仿真与实验结果表明：致动器在50 V电压下变形量可达1 um，固支条件下谐振频率在l kHz左右，对前100项Zernike像差具有良好的校正能力。该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力。