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波前传感器的测量精度

2014-08-09|来自:梦溪|发布:测量精度
哈特曼一夏克波前传感器的测量精度(即可靠测量所需的最小波前斜率)取决于它精确测量聚焦的光斑与其参考位置的偏移的能力。如果光斑与其它的光斑部分重叠,或者微透镜的焦斑落在传感器指定的区域以外(光斑交叉),传统算法将不能正确测到光斑的圆心位置。采用特殊的方法能解决该问题,但是将限制传感器的动态范围。使用大直径或短焦距的微透镜可增加系统的动态范围。通过增加微透镜的直径加大动态范围会降低可代表波前的泽尼克系数的数量。相反地,通过减小焦距增加动态范围会降低传感器的灵敏度。理想情况下,满足动态范围和测量灵敏度要求时,应使用最大焦距的微透镜(梦溪)。
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