线切割大多采用油基切削液.以矿物油为主要成份的油性切削液,其中含有矿物油、防腐蚀剂、抗极压剂等物质.
硬脆性材料线切削液,对切削液本身性质要求要具有无污染、低黏度、高带砂量、低杂质含量、对硬脆性材料的下游应用无不良影响的特点;再者要求切削液的应用性能具有切割后硬脆性材料无线痕、易于清洗、切割出片率高、成品合格率高的特点.
特别适合于加工硬脆晶体，例如用来加工用于微电子、光电子、光电及其他行业的晶片的系统。可加工的具体材料包括(例如)石榴石晶体(X3Y2(SiO4)3)、蓝宝石(Al2O3)、碳化硅(SiC)、钇铝石榴石(YAG)、氮化镓(GaNi)、氮化铝镓(AlGaN)、砷化镓(GaAs)、砷化铟镓(InGaAs)、氮化铟镓(InGaN)、锗(Ge)等等。